上海实科贸易有限公司

FLP 515不锈钢纤维过滤器用于ALD（原子层沉积）和CVD（化学气相沉积）这两个半导体器件制造中的关键过程。FLP设计用于过滤由液体化学或固体来源的混合物产生的低蒸气压气体。 这些高温蒸气是在直接液体注入系统中产生的，在此过程中，该过程利用汽化室或使用载气从起泡器系统中产生。

我们的FLP过滤器具有非常低的压差，并具有足够的过滤材料表面积，可捕获颗粒以防止其向下游迁移。 另外，不锈钢过滤材料可承受将低压气体、前驱物蒸气和汽化的有机金属保持在气相所需的温度（最高达450°C）。