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    FLP 515不锈钢纤维过滤器用于ALD(原子层沉积)和CVD(化学气相沉积)这两个半导体器件制造中的关键过程。FLP设计用于过滤由液体化学或固体来源的混合物产生的低蒸气压气体。 这些高温蒸气是在直接液体注入系统中产生的,在此过程中,该过程利用汽化室或使用载气从起泡器系统中产生。

    我们的FLP过滤器具有非常低的压差,并具有足够的过滤材料表面积,可捕获颗粒以防止其向下游迁移。 另外,不锈钢过滤材料可承受将低压气体、前驱物蒸气和汽化的有机金属保持在气相所需的温度(最高达450°C)。